原子力顯微鏡
◆ 激光檢測(cè)頭和樣品掃描臺(tái)集成一體,穩(wěn)定可靠;
◆ 精密激光及探針定位裝置,更換探針及調(diào)節(jié)光斑簡(jiǎn)單方便;
◆ 單軸驅(qū)動(dòng)樣品自動(dòng)垂直接近探針,準(zhǔn)確定位掃描區(qū)域,使針尖垂直于樣品掃描;
◆ 馬達(dá)控制加壓電陶瓷自動(dòng)探測(cè)的智能進(jìn)針方式,保護(hù)探針及樣品;
◆ 高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器,可根據(jù)不同精度和掃描范圍要求選擇;
◆ 10X復(fù)消色差物鏡光學(xué)定位,無需調(diào)焦,實(shí)時(shí)觀測(cè)
原子力顯微鏡技術(shù)參數(shù)
◆ 基本工作模式:接觸模式、輕敲模式、F-Z力曲線測(cè)量、RMS-Z曲線測(cè)量
◆ 選配工作模式:摩擦力/側(cè)向力、振幅/相位、磁力和靜電力
◆ 樣品尺寸:Φ≤90mm,H≤20mm
◆ 掃描范圍:XY向50um,Z向5um(可選配XY向110um,Z向10um)
◆ 掃描分辨率:XY向0.2nm,Z向0.05nm
◆ 樣品移動(dòng)范圍:0~20mm
◆ 光學(xué)放大倍數(shù)10X,光學(xué)分辨率1um(可選配20X,光學(xué)分辨率0.8um)
◆ 掃描速率0.6Hz~4.34Hz,掃描角度0~360°
◆ 掃描控制:XY采用18-bit D/A,Z采用16-bit D/A
◆ 數(shù)據(jù)采樣:14-bit A/D、雙16-bit A/D多路同步采樣
◆ 反饋方式:DSP數(shù)字反饋
◆ 反饋采樣速率:64.0KHz
◆ 通信接口:USB2.0/3.0
◆ 運(yùn)行環(huán)境:WindowsXP/7/8/10操作系統(tǒng)